| 摘要 |
본 발명의 기판 처리 설비는 기판이 수용되는 기판 이송 용기가 놓이는 로드포트; 기판을 처리하는 공정 처리부; 및 상기 기판 이송 용기와 상기 처리부 간에 기판을 반송하는 인덱스 로봇을 구비한 인덱스부를 포함하되; 상기 공정 처리부는 기판을 반송하는 제1메인반송로봇을 가지는 그리고 상기 인덱스부와 인접하게 배치되는 제1트랜스퍼챔버; 상기 제1트랜스퍼챔버와 인접하게 배치되고, 기판을 반송하는 제2메인반송로봇을 가지는 제2트랜스퍼챔버; 및 상기 제2메인반송로봇과 상기 인덱스 로봇간의 기판 인계를 위해 상기 제1트랜스퍼 챔버와 상기 제2트랜스퍼 챔버 사이를 주행하는 셔틀 버퍼부를 포함한다. |
