| 摘要 |
기판 프로세싱 챔버들에서 사용하기 위한 콜리메이터들의 실시예들이 본원에서 제공된다. 몇몇 실시예들에서, 콜리메이터는, 중앙 구역, 주변 구역, 및 중앙 구역과 주변 구역 사이에 배치된 천이 구역을 갖는 바디; 중앙 구역에서의 제 1 종횡비를 갖는 제 1 복수의 애퍼처들; 주변 구역에서의 제 1 종횡비보다 더 작은 제 2 종횡비를 갖는 제 2 복수의 애퍼처들; 및 천이 구역에서의 제 3 복수의 애퍼처들을 포함하며, 제 3 복수의 애퍼처들은, 천이 구역이 중앙 구역을 둘러싸는 원뿔형 형상을 형성하도록, 커팅된다. |
