| 摘要 |
본 발명은 웨이퍼 정렬방법 및 이를 이용하는 정렬장비에 관한 것으로, X축 및 y축이 설정된 스테이지 상에 정렬을 위한 노치(notch)를 포함하는 웨이퍼를 안착시키는 단계; 상기 웨이퍼의 제1 이미지를 촬영한 다음, 상기 웨이퍼를 180 회전시킨 후, 상기 웨이퍼의 제2 이미지를 촬영하는 단계; 상기 제1 이미지와 상기 제2 이미지를 비교하여, 상기 웨이퍼의 중심을 상기 스테이지의 x축 상으로 이동시키는 단계; 상기 웨이퍼의 제3 이미지를 촬영한 다음, 상기 웨이퍼를 180도 회전시킨 후, 상기 웨이퍼의 제4 이미지를 촬영하는 단계; 상기 제3 이미지와 상기 제4 이미지를 비교하여, 상기 웨이퍼의 중심을 상기 스테이지의 y축 상으로 이동시켜 상기 웨이퍼의 중심과 상기 스테이지의 중심을 일치시키는 단계; 및 상기 웨이퍼를 회전시켜 상기 노치를 통과하는 상기 웨이퍼의 중심선을 상기 스테이지의 정렬선과 일치시키는 단계;를 포함한다. |
