一种超短脉冲激光扫描装置

摘要

本实用新型公开了一种超短脉冲激光扫描装置。它包括位于同一光路上的声光调制器和二维声光偏转器，二维声光偏转器由正交放置的两个声光偏转器构成，声光偏转器与声光调制器夹角为45±5度。声光调制器的调制频率为f_AOM＝f±10％f到二维声光偏转器的间距D＝L±10％L。在使用声光偏转器对激光进行二维扫描时，本装置可以较好的补偿由于使用声光偏转器扫描超短脉冲激光束时引入的空间色散和时间色散。本装置结构简单，光路易于调节，适用于飞秒激光存储、成像和激光微加工等领域，特别适用于激光束的随机扫描。

主权项

1.一种超短脉冲激光扫描装置，其特征在于：该装置包括位于同一光路上的声光调制器(1)和二维声光偏转器，所述二维声光偏转器由正交放置的两个声光偏转器(2、3)构成，其中一个声光偏转器与声光调制器(1)的夹角为45±5或135±5度。