| 发明名称 |
SHOWER TYPE MASK CLEANING APPARATUS |
| 摘要 |
본 발명은 세정액이 샤워형으로 분사되어 세정 대상인 마스크를 세정하도록 구성된 샤워식 마스크 세정 장치에 관한 것이며, 보다 구체적으로 세정액의 분사 수단과 함께 초음파 진동자가 구비되어 마스크의 세정 효과를 극대화한 마스크 세정 장치에 관한 것이다. |
| 申请公布号 |
KR20160141069(A) |
申请公布日期 |
2016.12.08 |
| 申请号 |
KR20150074267 |
申请日期 |
2015.05.27 |
| 申请人 |
주식회사 탑 엔지니어링 |
发明人 |
윤용우;김방현;김정용 |
| 分类号 |
H01L51/56;H01L21/02;H01L21/67 |
主分类号 |
H01L51/56 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
