发明名称
摘要
申请公布号 JP3966273(B2) 申请公布日期 2007.08.29
申请号 JP20030405416 申请日期 2003.12.04
申请人 发明人
分类号 C23C16/46;H01L21/314;H01L21/768 主分类号 C23C16/46
代理机构 代理人
主权项
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