| 发明名称 | 保持平板印刷投射透镜下面的浸没流体的设备和方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种设备和方法，用于在更换平板印刷机(10)中工件(208)期间，将浸没流体(212)保持在邻接投射透镜(16)的间隙中。该设备和方法包括光学组件(16)和台组件(202)，前者作成为可以将图像投射到工件(208)上，后者包括工件座(204)，该工件座作成为可以支承邻接光学组件(16)的工件(208)。配置外围系统(26)，以便向台组件(202)上光学组件(16)和工件(208)之间形成的间隙输送浸没流体(212)，并从该间隙中除去该浸没流体(212)。在完成工件(208)曝光后，更换系统(216)取下工件(208)，并用第二工件替换该工件。配置浸没流体约束系统(214)，以便在取下第一工件(208)，并用第二工件代替时，可以将浸没流体(212)保持在该间隙中。 | ||
| 申请公布号 | CN101002140A | 申请公布日期 | 2007.07.18 |
| 申请号 | CN200480009702.0 | 申请日期 | 2004.03.17 |
| 申请人 | 株式会社尼康 | 发明人 | M·宾纳德 |
| 分类号 | G03B27/32(2006.01);G03B27/42(2006.01);G03B27/58(2006.01) | 主分类号 | G03B27/32(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王彦斌 |
| 主权项 | 1.一种设备，包括：光学组件，作成为可以将图像投射在工件上；台组件，包括作成为可以支承邻接上述光学组件的工件的工件座；以及浸没流体系统，在工件座移离光学组件时，该系统作成为可以基本上将浸没流体保持在邻接光学组件的间隙中。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||