非晶形薄膜的形成装置

摘要

本发明提供一种在形成大面积的非晶形薄膜方面有利的大型的形成装置、及使用该装置而进行的非晶形薄膜形成方法。该非晶形薄膜的形成装置从喷射机向基材喷射含有材料粒子的火焰，通过火焰使该材料粒子熔融后，将该材料粒子及火焰从达到基材之前开始用冷却气体进行冷却，其中，以使含有材料粒子的所述火焰的横截面为横长的方式在喷射机的前面沿直线连续地设置材料粒子喷射口(11)及火焰喷射口(12)。而且，在夹着这些材料粒子喷射口(11)及火焰喷射口(12)的两侧的位置，沿所述直线连续地设置用于对火焰进行整流并使其冷却的惰性气体的喷射口(13)，并且，在夹着惰性气体的喷射口(13)的两侧的位置，沿所述直线连续地设置用于冷却火焰的液体雾的喷射口(14)。

主权项

一种非晶形薄膜的形成装置，其特征在于，其为从喷射机向基材喷射含有材料粒子的火焰，通过火焰使该材料粒子熔融后，将该材料粒子及火焰从达到基材之前开始冷却的非晶形薄膜的形成装置，以使含有材料粒子的所述火焰的横截面为横长的方式，在喷射机的前面沿直线连续地设置材料粒子喷射口及火焰喷射口，在夹着这些材料粒子喷射口及火焰喷射口的两侧的位置，沿所述直线连续地设置用于对火焰进行整流并使其冷却的惰性气体的喷射口，并且，在夹着所述材料粒子喷射口、火焰喷射口及惰性气体的喷射口的两侧的位置，沿所述直线连续地设置用于冷却火焰的雾的喷射口，以及，材料粒子的喷射口，关于与所述直线呈直角并位于喷射机的中央的假想平面而对称地并连续地配置有多个，向这些喷射口的材料粒子的供给，从能够分别调整材料粒子的供给量和输送气体的流量的多个供给管穿过分支通路而进行，所述分支通路，关于所述假想平面而对称地形成，并且使从所述供给管到各喷射口的通路长度相同。