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Eine Interferenz-Objektivlinse beinhaltet Folgendes: ein Objektivlinsensystem; einen Strahlteiler, der zwischen einer Messfläche eines Messobjekts und einem Spitzenende des Objektivlinsensystems platziert wird, der von dem Objektivlinsensystem emittiertes Licht in einen optischen Referenzweg und einen optischen Messweg divergiert und der eine Kombinationswelle ausgibt, in der Reflexionslicht, das durch den optischen Referenzweg verläuft, und Reflexionslicht, das durch das Messobjekt verläuft, kombiniert werden; einen Referenzspiegel, der in dem optischen Referenzweg platziert wird und der durch den Strahlteiler Licht reflektiert, das in den optischen Referenzweg divergiert wird; ein Spiegelhalteelement, das eine Außenfläche in Form einer sphärischen Fläche aufweist und das den Referenzspiegel hält, so dass eine Reflexionsfläche des Referenzspiegels durch eine Mitte einer sphärischen Fläche verläuft; ein Trageelement, das eine Innenfläche in Form einer sphärischen Fläche mit einem Durchmesser aufweist, der im Wesentlichen gleich der Außenfläche des Spiegelhalteelements ist, und das die Außenfläche des Spiegelhalteelements durch die Innenfläche trägt; und einen Referenzspiegeljustiermechanismus, der eine Position des Spiegelhalteelements in dem Trageelement justiert. |
