一种电真空专用设备用多气体快速混合装置

摘要

本发明涉及一种电真空专用设备用多气体快速混合装置，属于电真空专用设备领域，特别涉及一种适合于真空镀膜、CVD气相沉积、真空炉、等离子刻蚀、半导体惰性气体保护封装等需要充入稳定均匀的特殊气体下的工作环境，多种气体充入混气罐后经过自然混合均匀，进入需要特殊气氛的设备，达到设备的工艺要求，本发明的设备主要包括：混气合气体罐I、混气罐II、不锈钢进气管、不锈钢出气管四大部分组成，具有结构简单可靠、工艺性好、成本低廉，具有极高的技术和经济价值。

主权项

一种电真空专用设备用多气体快速混合装置，其特征在于包括：混气罐I、混气罐II、混合前输入管、混合后输出管，所有部件均采用SUS304优质不绣钢制造，采用真空氩弧焊单面成型工艺焊接密封，焊接完成后内外电化学抛光处理，后使用氦质谱检漏仪进行真空检漏，漏率必须优于1X10^‑8Pa.L/S，在进气管端可安装不锈钢管专用卡套管接头与外接气源进行连接，也可串接一件或多件三通、四通不锈钢管专用卡套让多种气体进入混合前输入管内，混合前输入管一端面用氩弧焊接盲法兰密封，气体只能通过不锈钢管柱面上的若干小孔扩散至混气罐I，气体在混合前输入管内进行了第一次相互扩散混合，气体通过混合前输入管柱面的小孔扩散至混气罐I后进行第二次混气，通过混气罐I柱面的孔进入混气罐II，进入混气罐II后气体进行第三次扩散混合，混合的气体通过混合后输出管均匀输出，根据设备特点在输出管端可以串接三通、四通不锈钢管专用卡套接头，分气到电真空专用设备的特定位置，满足设备的特定工艺需求。