TAMPON DE POLISSAGE COMPORTANT UNE FENETRE

摘要

L'invention concerne un tampon de polissage (10) approprié pour polir ou planariser au moins un substrat parmi les substrats semi-conducteurs , optiques et magnétiques. Le tampon de polissage (10) a une surface de polissage (16), une ouverture à travers le tampon de polissage et une fenêtre transparente (20) dans l'ouverture dans le tampon de polissage. La fenêtre transparente a une surface concave (32) dont la profondeur augmente avec l'utilisation du tampon de polissage. Une région de signal (38) est inclinée en direction de la région centrale (36) pour faciliter le retrait des débris et une rainure d'évacuation des débris (12A) qui s'étend à travers la région centrale dans le tampon de polissage. La rotation du tampon de polissage avec du fluide de polissage dans la rainure d'évacuation des débris envoie les débris depuis la région centrale dans le tampon de polissage par le biais de la rainure d'évacuation des débris.