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发明名称 Prüfvorrichtung für mittels Prüfwerkzeugen zu prüfende Halbleiter-Wafer
摘要
申请公布号 DE19540103(B4) 申请公布日期 2008.04.17
申请号 DE19951040103 申请日期 1995.10.27
申请人 REITINGER, ERICH 发明人 REITINGER, ERICH
分类号 G01R31/28;B23Q1/00;G01M99/00;G01R31/26;H01L21/66;H01L21/68 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
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