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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING MEMS DEVICES PROVIDING AIR GAP CONTROL
摘要
申请公布号 EP1943185(A1) 申请公布日期 2008.07.16
申请号 EP20070794971 申请日期 2007.05.16
申请人 QUALCOMM MEMS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 TUNG, MING-HAU;KOGUT, LIOR
分类号 B81B3/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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