化学－机械抛光固定环

摘要

一种化学－机械抛光固定环，它包括一个由耐磨塑料制成的基部，和由更坚硬、更耐磨的材料制成的上部或主干部。最好是一个基部或主干部包覆成型在另一个之上。基部通常由平的垫接触区、外表面和内表面构成。基部还可包含从外表面延伸至内表面的流道，以促进浆液在加工期间传递到和传递出被抛光的基片。基部或主干部之中的一个或两者，还包含多个环形凸缘，用于与包覆成型材料形成附加的连接面。

主权项

1.一种用于化学-机械抛光操作的固定环，其特征在于，它包括：环形主干部，它具有一个或多个环形的在轴向凸出的主干部凸缘、和形成在所述主干部凸缘之间的沟槽，所述主干部包括刚性聚合物材料；和耐磨聚合物基部，它具有平的底表面、一个或多个环形的在轴向凸出的基部凸缘、形成于所述基部凸缘之间的沟槽以及在所述固定环的内缘和外缘之间延伸的所述底表面中的多个凹槽，所述凹槽适合促进在抛光操作期间浆液的传递；其中，所述主干部和所述基部是通过包覆成型工艺连接在一起的，从而使得所述主干部凸缘与所述基部沟槽紧密配合，并且所述基部凸缘与所述主干部沟槽紧密配合。