增强MEMS微镜抗变能力的方法

摘要

本发明涉及一种增强MEMS微镜抗变能力的方法，属于微机电系统器件制造领域。本方法采用在微镜背部增加圆环结构的方法降低微镜振动时的动态变形，来保证微镜对光束的正常偏转。具有成本更低、系统更加简单、体积更加精巧、可操作性更强的特点。通过比对三种不同背部结构，圆环形结构在降低动态变形的同时，可以减少工艺步骤，节省工艺成本。

主权项

一种增强MEMS微镜抗变能力的方法，其特征在于：在MEMS微镜背部增加圆环结构来改善和缓解MEMS微镜在高速转动下的动态形变。