| 发明名称 | 用于测量工艺组件是否满足指定公差的方法和装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种通过/不通过式量具和方法，用于检验用在等离子体加工工具的等离子体室内的工艺组件是否已经累积过多的磨损或沉积物。所述量具包括用于检验工艺组件的尺寸是否违反指定的尺寸公差的部件，所述违反表示工艺组件已经累积过多的磨损或沉积物。 | ||
| 申请公布号 | CN1906457A | 申请公布日期 | 2007.01.31 |
| 申请号 | CN200580001701.6 | 申请日期 | 2005.01.27 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 史蒂文·T·芬克 |
| 分类号 | G01B3/50(2006.01) | 主分类号 | G01B3/50(2006.01) |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 柳春雷 |
| 主权项 | 1.一种通过/不通过式量具，用于检验用在等离子体加工工具的等离子室内的工艺组件是否已经累积了过多的磨损或沉积物，包括：主体，被构造成由所述通过/不通过式量具的使用者握持；检验特征，被构造成检验所述工艺组件的特征尺寸是否违反指定的尺寸公差，其中，违反所述指定公差表示所述工艺组件的过度磨损或者过多的材料沉积在所述工艺组件上；标识特征，被构造成使所述通过/不通过式量具与所述工艺组件和所述工艺组件将要暴露到其中的工艺中的至少一个唯一相关联。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||