Process chamber included in substrate disposition apparatus

摘要

공정챔버의 일 실시예는, 상부판; 적어도 하나의 기판을 지지하고, 승하강이 가능하도록 구비되는 기판안착부; 상기 기판안착부를 수용하고, 상기 상부판에 의해 폐쇄되는 수용부; 상기 상부판에 장착되고, 공정가스를 상기 수용부에 공급하는 가스공급부; 및 상기 상부판의 하측에 배치되고, 상기 가스공급부의 일부분이 삽입되는 단열재를 포함할 수 있다.