| 摘要 |
글래스와 필름 혼용 표면검사장치를 제공한다.본 발명은 경성재질의 제1검사대상물과 연성재질의 제2검사대상물에 대한 표면검사를 선택적으로 수행하는 장치에 있어서, 상기 제1,2검사대상물 중 어느 하나가 상단에 접하여 올려지도록 복수개의 적치용 수직판이 일정간격을 두고 구비되는 한쌍의 적치대를 갖추어 검사대상물을 로딩하는 로딩부 ;상기 적치대의 좌우양측에 배치되는 좌우한쌍의 고정대의 레일에 활주이동가능하게 조립되는 좌우한쌍의 왕복대를 갖추고, 상기 왕복대에 구비된 복수개의 제1가이더에 활주이동가능하게 조립되는 복수개의 제1슬라이더를 갖는 좌우한쌍의 이동판을 갖추어 상기 왕복대와 직교하는 방향으로 이동판을 왕복이동시키는 이동부 ; 상기 이동판에 구비된 복수개의 제2가이더에 활주이동가능하게 조립되는 복수개의 제2슬라이더를 갖추고, 상기 제1,2검사대상물 중 어느 하나의 양측 테두리의 하부면에 흡착고정되는 흡착패드와 상기 제1,2검사대상물 중 어느 하나의 양측 테두리의 상부면에 밀착되는 흡착패드를 선단에 구비하는 좌우한쌍의 흡착클램핑판을 갖추어 상기 검사대상물의 양측테두리를 클램핑하여 고정하는 클램핑부를 포함한다. |
