发明名称 Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauelement
摘要
申请公布号 DE10102993(B4) 申请公布日期 2009.01.08
申请号 DE20011002993 申请日期 2001.01.24
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 FISCHER, FRANK;FREY, WILHELM;BISCHOF, UDO;METZGER, LARS
分类号 B81C1/00;B81B3/00 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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