基板处理装置

摘要

本发明涉及能够稳定执行对基板的表面处理，可以减少用于所述基板表面处理的药液使用量的基板处理装置。为此，本发明所提供的基板处理装置包括：多个输送辊，旋转的同时对基板进行输送且用于使得所述基板的下面被药液浸湿；多个药液供应槽，用于盛放所述药液，设置在所述多个输送辊的各自下部且相间隔而布置；主容器，围绕所述多个药液供应槽；排气单元，用于吸入在所述药液浸湿所述基板的下面的过程中所产生的烟气（fume）和所述药液的液滴。

主权项

一种基板处理装置包括：多个输送辊，为了在输送基板的同时使得所述基板的下面被药液浸湿而旋转；多个药液供应槽，用于盛放所述药液，设置在所述多个输送辊的各自下部且相间隔而布置；主容器，围绕所述多个药液供应槽；以及排气单元，吸入所述药液被浸湿到所述基板的下面的过程中所产生的烟气和所述药液的液滴而进行排气；前方容器，设置在所述主容器的一侧并向每个所述药液供应槽供应所述药液；药液供应单元，用于向所述前方容器供应所述药液；后方容器，设置在所述主容器的另一侧并通过所述多个药液供应槽接收所述药液；第一药液排出单元，设置为用于排出沿着所述药液供应槽的长度方向溢出并流入所述后方容器的内部的所述药液；第二药液排出单元，设置为用于将沿着所述药液供应槽的横截面方向溢出而流入到所述主容器里的所述药液排出到外部；所述排气单元具有贯穿所述主容器一表面，且包括从所述主容器的底板面被开放的吸入管，以及与所述吸入管相连通的风扇；所述吸入管的上部末端位于所述多个药液供应槽的下部，以通过在相邻的所述多个药液供应槽之间所间隔的空间来吸入烟气。