PROVING CHAMBER AND PROVING METHOD

摘要

본 발명의 실시예에 따른 프로빙 챔버는 척; 상기 척 상에 배치되는 캐리어; 상기 대상물이 진공 상태의 챔버 내부 공간에 노출되도록 상기 캐리어를 조작하는 캐리어 핸들링부; 및 상기 챔버 내부 공간에 노출된 대상물에 접촉가능한 프로브;를 포함한다.