| 发明名称 |
Verfahren zum Betreiben einer CVD-Anlage |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE10335460(B4) |
申请公布日期 |
2008.02.28 |
| 申请号 |
DE20031035460 |
申请日期 |
2003.08.02 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
BERNHARDT, HENRY;HUMMELTENBERG, REINHARD |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/46;C30B25/10;H01L21/314;H01L21/318;H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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