明視野差分干渉コントラストを用いた強化検査及び計測技法及びシステム

摘要

明視野差分干渉コントラスト（ＢＦ−ＤＩＣ）システムにおいて高精度の検査または計測を与える方法が記載される。本方法は、第１の光ビームから第１及び第２のビームを生成することを含むことができる。第１及び第２のビームは円形断面を有し、基板上で半径方向に変位される第１の部分的重複走査スポットを形成する。第３及び第４のビームは、第１の光ビームまたは第２の光ビームから生成される。第３のビーム及び第４のビームは楕円形断面を有し、基板上で接線方向に変位される第２の部分的重複走査スポットを形成する。基板が回転されている際に第１及び第２の部分的重複走査スポットを用いて、基板の少なくとも一部分を走査することができる。第１及び第２の部分的重複走査スポットを用いた走査から得られる測定値を用いて、半径方向及び接線方向の傾斜を決定することができる。ウェーハ形状またはいずれかの局所形態特性を確定するために、半径方向及び接線方向の傾斜を用いることができる。