多层石墨烯的制备方法

摘要

本发明提供一种多层石墨烯的制备方法。具体而言，该多层石墨烯的制备方法可以包括以下步骤：在基板上形成一层催化剂金属层；在所述催化剂金属层上供给甲烷气体并进行热处理；及在所述热处理的催化剂金属层上合成多层石墨烯。如上所述，根据本发明，在石墨烯的合成步骤之前使用甲烷气体对催化剂金属层进行热处理，从而可以在基板上直接生长大面积的多层石墨烯。并且，与现有的通过单层石墨烯的合成和转移工艺的多层石墨烯制备方法相比，能够实现简化制造工艺，降低制造成本。同时，通过调节石墨烯合成时间来可以控制石墨烯层数，因此，能容易制备所需层数的多层石墨烯。

主权项

一种多层石墨烯的制备方法，其特征在于，包括：在基板上形成一层催化剂金属层；在所述催化剂金属层上供给甲烷气体并进行热处理；及在所述热处理的催化剂金属层上合成多层石墨烯。