发明名称 用于镍层无电沉积的镀浴
摘要 本发明涉及用于镍和镍合金沉积的水性镀浴组合物,其利用具有碳碳三键和官能团的新颖稳定剂来增强所述浴性能。
申请公布号 CN104321463B 申请公布日期 2016.12.28
申请号 CN201380026312.3 申请日期 2013.05.31
申请人 德国艾托特克公司 发明人 海科·布伦纳;扬·皮卡勒克;尤利娅·贝扬;卡斯滕·克劳斯;霍尔格·贝拉;斯文·鲁克布拉德
分类号 C23C18/34(2006.01)I;C23C18/50(2006.01)I;H01L21/288(2006.01)I 主分类号 C23C18/34(2006.01)I
代理机构 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人 林斯凯
主权项 一种用于镍和镍合金的无电沉积的水性镀浴组合物,所述水性镀浴组合物包含(i)镍离子的来源,(ii)至少一种络合剂,(iii)至少一种还原剂,(iv)式(1)的稳定剂:<img file="FDA0001043039900000011.GIF" wi="853" he="369" />其中X是选自O和NR<sup>4</sup>,n在1到6范围内,m在1到8范围内;R<sup>1</sup>、R<sup>2</sup>、R<sup>3</sup>和R<sup>4</sup>是独立地选自氢和C<sub>1</sub>到C<sub>4</sub>烷基;Y是选自‑SO<sub>3</sub>R<sup>5</sup>、‑CO<sub>2</sub>R<sup>5</sup>和‑PO<sub>3</sub>R<sup>5</sup><sub>2</sub>,且R<sup>5</sup>是选自氢、C1‑C4烷基和适合的反离子。
地址 德国柏林