电容式压力传感器及其形成方法

摘要

一种电容式压力传感器及其形成方法，所述电容式压力传感器包括：基底，所述基底中具有凹槽和位于凹槽底部的刻蚀孔，凹槽和刻蚀孔相互贯穿；位于凹槽侧壁上的环形的第一电极，所述第一电极包括分立的第一子电极和第二子电极；位于刻蚀孔的侧壁以及凹槽内的环形中空的第二电极，凹槽内的部分第二电极与第一电极之间具有第一空腔，第二电极的中空区域为第二空腔；封闭第二空腔顶端开口的第一密封层；封闭第二空腔底端开口的第二密封层。本发明的电容式压力传感器的占据的基底面积小，灵敏度提高。

主权项

一种电容式压力传感器的形成方法，其特征在于，包括：提供基底，在所述基底中形成凹槽；在凹槽的侧壁上形成环形的第一电极，所述第一电极包括分立的第一子电极和第二子电极；在第一电极的侧壁上形成第一牺牲层；刻蚀凹槽底部的基底，在凹槽底部的基底中形成刻蚀孔；在所述刻蚀孔的侧壁和底部、凹槽的部分底部以及第一牺牲层的侧壁上形成环形的第二电极；在第二电极上形成第二牺牲层，所述第二牺牲层填充凹槽和刻蚀孔；在所述第二牺牲层表面形成第一密封层；去除第一牺牲层，在第一电极和第二电极之间形成第一空腔；平坦化或刻蚀基底的背面，直至暴露出刻蚀孔底部的第二电极，并去除刻蚀孔底部的第二电极，暴露出刻蚀孔底部的第二牺牲层；去除所述凹槽和刻蚀孔内的第二牺牲层，形成第二空腔；形成密封所述第二空腔的下端开口的第二密封层。