| 摘要 |
본 발명에 의하면, 열처리 보트의 다리부와 덮개 사이의 간극으로부터 충분하고도 확실하게 불활성 가스를 반응관 내로 방출한다. 열처리 장치(1)는 하방에 노구(3)를 갖는 반응관(4)과, 반응관(4)의 노구(3)를 밀폐하는 덮개(5)와, 덮개(5)에 다리부(18)을 개재하여 지지되는 열처리 보트(16)와, 덮개(5)을 관통하여 연장되고, 다리부(18)에 연결된 회전축부(27)을 구비하고 있다. 덮개(5)는 다리부(18)의 하방 플랜지(19)를 둘러싸는 포위 링(5a)을 갖는다. 덮개(5)와 회전축부(27) 사이에 불활성 가스 도입관(51)으로부터 불활성 가스가 공급되고, 이 불활성 가스는 하방 플랜지(19)와 포위 링(5a) 사이의 간극(g)으로부터 반응관(4) 내로 방출된다. |
