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System zum Herstellen einer integrierten Schaltung, das einen Vorausrichter (100) zum Ausrichten eines Substrats (170) umfasst, mit folgenden Merkmalen: einem Rotor (110), der einen Träger (120) ansprechend auf ein Rotationssignal um eine Rotationsachse (130) dreht; wobei der Träger (120) eine Hauptoberfläche (160) aufweist, die senkrecht zu der Rotationsachse (130) ist; wobei das Substrat (170) an dem Träger (120) angeordnet ist; und wobei das Substrat (170) eine Hauptoberfläche (190) und eine Markierung aufweist, derart, dass eine Orientierung des Substrats (170) mit Bezug auf die Rotationsachse (130) erfasst wird; eine Quelle (200) für elektromagnetische Strahlung, die die Hauptoberfläche (190) des Substrats (170) mit elektromagnetischer Strahlung beleuchtet; einem optisch/elektrischen Wandler (210), der auf die von der Hauptoberfläche (190) des Substrats (170) reflektierte elektromagnetische Strahlung anspricht, die Markierung des Substrats (170) erfasst und ein Erfassungssignal liefert; und einer Steuerung (150), die das Erfassungssignal empfängt, und das Rotationssignal liefert; wobei der Träger (120) ein unterschiedliches Reflexionsvermögen als das Substrat (170) aufweist; und wobei das Substrat (170) an dem Träger (120) durch einen Klebstoff angeordnet ist und der Klebstoff ein unterschiedliches Reflexionsvermögen als das Substrat (170) aufweist. |
