一种用法布里-珀罗标准具测量焦距和转角的方法

摘要

本发明公开了一种用法布里-珀罗标准具测量焦距和转角的方法，测量焦距的方法，包括用单色光经法布里-珀罗标准具透射，产生一组圆锥角θ_i规律准确的标准圆锥光束，所述圆锥光束经转镜反射，再经过物镜，在位于所述物镜的焦平面的面阵光电器件表面形成一组同心圆环；在各圆环上选取多个点域，对各个点域内的一维像元作细分；由所述圆锥光束的同心圆环直径D_i及其标准差s_Di，按圆锥角θ_i分布规律由D_i＝2(f_i/W)tanθ_i求出f_i/W，f_i/W是由单个圆直径D_i算出的焦距f_i与所述面阵光电器件的平均像元间距W的比值，进而求出f_i/W的加权平均值以得出被测焦距f。本发明能提高焦距以及转角测量的准确度与精密度。

主权项

一种用法布里‑珀罗标准具测量焦距的方法，其特征在于：包括如下步骤：第一步：用单色光经法布里‑珀罗标准具透射，产生一组圆锥角θ_i规律准确的标准圆锥光束，所述圆锥光束经转镜反射，再经过物镜，在位于所述物镜的焦平面的面阵光电器件表面形成一组同心圆环；第二步：在各圆环上选取多个点域，对各个点域内的一维像元作细分；第三步：由所述圆锥光束的同心圆环直径D_i及其标准差s_Di，按圆锥角θ_i分布规律由D_i＝2(f_i/W)tanθ_i求出f_i/W，f_i/W是由单个圆直径D_i算出的焦距f_i与所述面阵光电器件的平均像元间距W的比值，进而求出f_i/W的加权平均值以得出被测焦距f。