发明名称 背接触式太阳能电池的制作方法
摘要 一种背接触式太阳能电池的制作方法,包含在半导体基板的背光表面上制作n型掺杂区、p型掺杂区以及背抗反射层。借由含铅的导电胶穿过背抗反射层,与n型掺杂区与p型掺杂区连接,而作为n型电极与p型电极。
申请公布号 CN103811591B 申请公布日期 2016.10.05
申请号 CN201410069201.7 申请日期 2014.02.27
申请人 友达光电股份有限公司 发明人 胡雁程;陈人杰;吴振诚
分类号 H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人 梁挥;鲍俊萍
主权项 一种背接触式太阳能电池的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤(a)提供一半导体基板;步骤(b)粗糙化该半导体基板的一受光表面;步骤(c)形成一阻障层于该受光表面;步骤(d)对该半导体基板进行一硼离子扩散,以在该半导体基板的侧面与一背光表面形成一p型掺杂层;步骤(e)移除该阻障层;步骤(f)图案化该p型掺杂层,以在该背光表面形成交错排列的多个凹槽与多个p型掺杂区;步骤(g)形成一前表面场层于该受光表面上,以及形成多个n型掺杂区于该些凹槽中,其中,该些n型掺杂区与该些p型掺杂区互不相连;步骤(h)形成一前抗反射层于该前表面场层上,以及形成一背抗反射层于该背光表面上;步骤(i)印制多个导电胶于该背抗反射层,该些导电胶的位置分别对应于该些n型掺杂区以及该些p型掺杂区;以及步骤(j)烧结该些导电胶,以形成多个电极。
地址 中国台湾新竹科学工业园区新竹市力行二路1号