靶材流向引导装置

摘要

本发明提供一种靶材流向引导装置，包括加热底板和导向顶板，加热底板内具有加热电阻，加热底板的中心具有隔离板，隔离板的顶部具有盖板，加热底板上具有绕其轴线均布的多个分隔板，分隔板的一端朝向隔离板方向延伸，另一端朝向加热底板的边缘处延伸，导向顶板位于盖板的上方，导向顶板的下表面与分隔板的上表面固定，分隔板、加热底板和导向顶板将加热底板和导向顶板之间的区域分割成多个气流通道。本发明的有益效果是能对靶材离子流的流向进行再分配，使其尽可能均匀的散播于镀膜腔中，特别适用于大型板材的镀膜。

主权项

靶材流向引导装置，其特征在于：包括加热底板和导向顶板，所述加热底板内具有加热电阻，所述加热底板的中心具有十字隔离板，所述十字隔离板的顶部具有盖板，所述加热底板上具有绕其轴线均布的多个分隔板，所述分隔板的一端朝向所述十字隔离板方向延伸，另一端朝向所述加热底板的边缘处延伸，所述导向顶板位于所述盖板的上方，所述导向顶板的下表面与所述分隔板的上表面固定，所述分隔板、所述加热底板和所述导向顶板将所述加热底板和所述导向顶板之间的区域分割成多个气流通道。