发明名称 |
一种适用于高过载环境的MEMS器件激活机构 |
摘要 |
本实用新型涉及MEMS器件的过载保护技术,具体是一种适用于高过载环境的MEMS器件激活机构。本实用新型解决了现有MEMS器件的过载保护方法容易影响MEMS器件的正常工作、容易导致MEMS器件发生结构损坏的问题。一种适用于高过载环境的MEMS器件激活机构,包括质量块、锚块部分、支撑梁部分、吸能梁部分;所述锚块部分包括两个前锚块、两个后锚块、两个左锚块、两个右锚块;所述支撑梁部分包括两个Ω字形前支撑梁、两个Ω字形后支撑梁;所述吸能梁部分包括两个左吸能梁、两个右吸能梁、四个断裂点。本实用新型适用于MEMS器件的过载保护。 |
申请公布号 |
CN205592628U |
申请公布日期 |
2016.09.21 |
申请号 |
CN201620402899.4 |
申请日期 |
2016.05.06 |
申请人 |
中北大学 |
发明人 |
张志东;曹慧亮;吴景;郭戌瑞;仇彦男;张日欣;张增磊;薛日辉;杜嘉丽 |
分类号 |
F16P7/00(2006.01)I;B81B7/00(2006.01)I |
主分类号 |
F16P7/00(2006.01)I |
代理机构 |
太原科卫专利事务所(普通合伙) 14100 |
代理人 |
朱源;王勇 |
主权项 |
一种适用于高过载环境的MEMS器件激活机构,其特征在于:包括质量块(1)、锚块部分、支撑梁部分、吸能梁部分;所述锚块部分包括两个前锚块(21)、两个后锚块(22)、两个左锚块(23)、两个右锚块(24);两个前锚块(21)的后表面分别与质量块(1)的前表面左部和前表面右部正对;两个后锚块(22)的前表面分别与质量块(1)的后表面左部和后表面右部正对;两个左锚块(23)的右表面分别与质量块(1)的左表面前部和左表面后部正对;两个右锚块(24)的左表面分别与质量块(1)的右表面前部和右表面后部正对;所述支撑梁部分包括两个Ω字形前支撑梁(31)、两个Ω字形后支撑梁(32);两个Ω字形前支撑梁(31)的首端分别与两个前锚块(21)的后表面垂直固定;两个Ω字形前支撑梁(31)的尾端分别与质量块(1)的前表面左部和前表面右部垂直固定;两个Ω字形后支撑梁(32)的首端分别与两个后锚块(22)的前表面垂直固定;两个Ω字形后支撑梁(32)的尾端分别与质量块(1)后表面左部和后表面右部垂直固定;所述吸能梁部分包括两个左吸能梁(41)、两个右吸能梁(42)、四个断裂点(43);两个左吸能梁(41)的首端分别与两个左锚块(23)的右表面垂直固定;两个左吸能梁(41)的尾端分别与质量块(1)的左表面前部和左表面后部垂直固定;两个右吸能梁(42)的首端分别与两个右锚块(24)的左表面垂直固定;两个右吸能梁(42)的尾端分别与质量块(1)的右表面前部和右表面后部垂直固定;四个断裂点(43)分别设置于两个左吸能梁(41)和两个右吸能梁(42)上。 |
地址 |
030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号 |