发明名称 一种蜂窝状三维多孔硅材料及其制备方法
摘要 本发明公开一种蜂窝状三维多孔硅材料及其制备方法。采用球形二氧化硅纳米粒子为硅源,在高于常温常压下镁熔点以上温度范围(950~1050℃)进行镁热还原。高温下一方面二氧化硅发生颗粒之间的烧结而发生粘连;另外一方面,镁发生熔融,镁蒸汽将二氧化硅完全还原为单质硅,从而形成三维蜂窝状连续多孔硅结构。该发明方法无需氢氟酸刻蚀,避免了有毒试剂的使用,工艺简单快捷,环保,条件可控,重复性好。
申请公布号 CN106115710A 申请公布日期 2016.11.16
申请号 CN201610445391.7 申请日期 2016.06.17
申请人 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 发明人 程亚军;左秀霞;朱锦
分类号 C01B33/023(2006.01)I 主分类号 C01B33/023(2006.01)I
代理机构 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 代理人 杜军
主权项 一种硅材料,其特征在于该材料呈蜂窝状三维多孔结构,且相互连成一体,呈现微米尺寸;上述硅材料采用80~800nm球形二氧化硅纳米粒子为硅源,在950~1050℃下通过镁热还原为单质硅而形成。
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