两种气体独立均匀喷气喷淋装置

摘要

两种气体独立均匀喷气喷淋装置，主要解决现有技术存在的加工成本高及容易出现废品等问题。它包括双通道进气板、扩散挡板、匀气环及喷淋孔板。其结构是将扩散挡板焊接在双通道进气板的中心处，上述扩散板与双通道进气板构成第一个部分。将匀气环与喷淋孔板焊接在一起，构成第二个部分。将焊接后的两个部分钎焊在一起，形成空腔。所述双通道进气板上设置进气口A、进气口B，进气口A与两个部分形成的空腔相通，进气口B与双通道进气板的矩形槽相通。本发明采用少量部件焊接的形式，并且，双独立通道结构建立在单个零件中，实现了两种气体相互隔离喷淋功能，缩短了喷淋装置的加工周期，降低了加工成本和废品率，使喷淋装置的可靠性得以保证。本发明属于半导体薄膜沉积应用及制造技术领域。

主权项

两种气体独立均匀喷气喷淋装置，其特征在于：该装置包括双通道进气板、扩散挡板、匀气环、喷淋孔板四个部分，将扩散挡板焊接在双通道进气板的中心处，上述扩散挡板与双通道进气板构成第一个部分，将匀气环与喷淋孔板焊接在一起，使匀气环内侧壁的沟槽与喷淋孔板的夹层相通，上述匀气环与喷淋孔板构成第二个部分，将焊接后的两个部分钎焊在一起，形成空腔，使匀气环设有均布的若干半通孔与双通道进气板设有的矩形槽相通，所述喷淋装置内部设有相互隔离的两个气体通道，双通道进气板上设置进气口A、进气口B，进气口A与两个部分形成的空腔相通，进气口B与双通道进气板的矩形槽相通，所述的双通道进气板为圆形板状，圆形板状的双通道进气板的下端面边缘上设置环形凸台，在环形凸台的端面上开有矩形槽，在矩形槽的槽底钻一个通孔B，在双通道进气板的中心开设一个通孔A，所述的进气口A和进气口B设置在双通道进气板的上端面上，在双通道进气板内部设有的两个独立的气体通道，所述两个独立的气体通道分别设置在双通道进气板的中心处与边缘处，边缘处的气体与环形凸台端面上开有的矩形槽相通，将板状喷淋孔板用去除材料的方式，使其内部形成夹层，并在夹层中规律地分布导气柱，在每个导气柱上钻一个通孔，在导气柱之间规律地钻半通孔，形成上述结构后再将板状的喷淋孔板加工成圆形，将内径与喷淋孔板外径一致的匀气环的内侧壁开槽，在匀气环的端面上设置均布的若干半通孔，使所述的若干半通孔与槽相通，将匀气环套在喷淋孔板外围，使匀气环内侧壁开有的槽与喷淋孔版的夹层相通，扩散挡板设置在双通道进气板中心处，将匀气环上带有半通孔的端面与双通道进气板带有矩形槽的一端连接固定，使双通道进气板的下端面上设有的矩形槽与匀气环端面上设有的半通孔相通，这样，第一种气体由喷淋装置的双通道进气板中心处的气体入口进入，经过扩散挡板的作用充分扩散到整个喷淋装置的内腔中，经喷淋孔板的设置在各导气柱中的各通孔流出喷淋装置，第二种气体由喷淋装置的双通道进气板边缘处的第二气体入口进入，在双通道进气板下端面上设置的矩形槽内流动，在流动过程中通过匀气环端面上均布的半通孔进入到设置在匀气环内侧壁上的沟槽中，在匀气环内侧壁上的沟槽中充分扩散并由喷淋孔板的边缘向中心方向弥漫到喷淋孔板的夹层中，并从导气柱之间设置的半通孔流出喷淋装置，两种气体同时进入反应腔中。