发明名称 |
一种高反射膜及其制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种高反射膜,包括依次设置在基板上的基底层、高反层和保护层;所述的基底层与所述基板紧贴;所述的高反层包括银铜合金层;所述的保护层包括依次设置的Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>层、SiO<sub>2</sub>层和Ti<sub>3</sub>O<sub>5</sub>层,其中,所述Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>层紧贴所述高反层,该高反射膜反射率高,并且耐高温耐腐蚀。本发明还公开了一种高反射膜的制备方法,包括:将基板放入镀膜机的真空室中,先在基板上镀一层基底层,再在基板上镀一层高反层,然后在基板上镀一层保护层,得到高反射膜。该方法制备简单,并且有利于形成粘附性、致密性好的高反射膜,使其具有优异的反射性能以及良好的耐高温耐腐蚀。 |
申请公布号 |
CN103728684B |
申请公布日期 |
2016.08.24 |
申请号 |
CN201410004352.4 |
申请日期 |
2014.01.02 |
申请人 |
杭州科汀光学技术有限公司 |
发明人 |
杨晓华;艾曼灵;金波;郑臻荣;陶占辉 |
分类号 |
G02B5/08(2006.01)I;G02B1/14(2015.01)I;B32B9/04(2006.01)I;B32B15/04(2006.01)I;B32B15/20(2006.01)I;B32B17/06(2006.01)I |
主分类号 |
G02B5/08(2006.01)I |
代理机构 |
杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 |
代理人 |
胡红娟 |
主权项 |
一种高反射膜,其特征在于,所述的高反射膜包括依次设置在基板上的基底层、高反层和保护层;所述的基底层与所述基板紧贴;所述的高反层包括银铜合金层,所述的银铜合金层由重量百分含量20%~40%的铜和重量百分含量60%~80%的银混合而成;所述的保护层包括依次设置的Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>层、SiO<sub>2</sub>层和Ti<sub>3</sub>O<sub>5</sub>层,其中,所述Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>层紧贴所述高反层;所述的高反层中的银铜合金层的厚度为240~260nm,所述的保护层中Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>层的厚度为20~23nm,所述的保护层中SiO<sub>2</sub>层的厚度为49.5~51.5nm,所述的保护层中Ti<sub>3</sub>O<sub>5</sub>层的厚度为16~18nm;所述的基板为玻璃基板,所述的基底层包括依次设置的Ti<sub>3</sub>O<sub>5</sub>层、SiO<sub>2</sub>层和Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>层,其中,所述的Ti<sub>3</sub>O<sub>5</sub>层与所述基板紧贴,所述的Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>层与所述高反层紧贴,所述的基底层中Ti<sub>3</sub>O<sub>5</sub>层的厚度为23~25nm,所述的基底层中SiO<sub>2</sub>层的厚度为37~41nm,所述的基底层中Al<sub>2</sub>O<sub>3</sub>层的厚度为20~23.5nm。 |
地址 |
311100 浙江省杭州市余杭经济开发区天荷路21号 |