基板处理装置

摘要

一种基板处理装置，能够抑制基板的抖动以及输送偏移。基板处理装置(1)具备：在处理室(2)内以夹着输送路(H)的方式在输送路的上下分别设置，分别朝输送路吹送气体的第1吹拂器(4a)以及第2吹拂器(4b)；以及设置在处理室内并对气体的流动进行整流的整流板(5)。第1吹拂器以及第2吹拂器设置成分别具有长条状的吹出口(13)，吹出口的长度方向在水平面内相对于基板(W)的输送方向(Ha)朝相同的方向倾斜，吹出口朝基板的输送方向的上游侧吹出气体。整流板设置成具有第1面(5a)以及其相反面即第2面(5b)，位于输送路的下方且朝基板的输送方向的下游侧倾倒，将气体的流动分成沿着第1面的流动和沿着第2面的流动。

主权项

一种基板处理装置，其特征在于，具备：处理室；输送部，设置在所述处理室内，并输送基板；第1气体供给部以及第2气体供给部，在所述处理室内以夹着输送所述基板的输送路的方式在所述输送路的上下分别设置，并分别朝所述输送路吹送气体；以及整流板，设置在所述处理室内，并对气体的流动进行整流，所述第1气体供给部以及所述第2气体供给部设置成：分别具有吹出所述气体的长条状的吹出口，所述吹出口的长度方向在水平面内相对于所述基板的输送方向朝相同的方向倾斜，所述吹出口朝所述基板的输送方向的上游侧吹出所述气体，所述整流板设置成：具有第1面以及该第1面的相反面即第2面，位于所述输送路的下方且朝所述基板的输送方向的下游侧倾倒，将气体的流动分成沿着所述第1面的流动和沿着所述第2面的流动。