发明名称 |
一种陶瓷盘高速甩干清洁置具 |
摘要 |
为解决蓝宝石晶片加工过程中,陶瓷盘表面残留的水分问题,本实用新型提供了一种陶瓷盘高速甩干清洁置具,属于蓝宝石晶片加工技术设备领域,本实用新型包括容器,所述容器内固定设置一旋转装置,所述旋转装置上设置一托盘。还包括一流液管,所述流液管设置于容器上方。本实用新型通过设置高速旋转装置,使陶瓷盘在高速旋转装置的带动下高速甩干,经过甩干后的陶瓷盘表面干燥,陶瓷盘上的晶片表面无水分,甩干前流液管内清洗剂的导入,提高了晶片表面的洁净程度,保证下一步晶片测量工作的数据准确性。本实用新型结构简单,高效实用,完美的解决了晶片表面水分问题。 |
申请公布号 |
CN205482122U |
申请公布日期 |
2016.08.17 |
申请号 |
CN201620084051.1 |
申请日期 |
2016.01.28 |
申请人 |
青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司 |
发明人 |
楚玉环 |
分类号 |
F26B5/08(2006.01)I;B08B3/00(2006.01)I |
主分类号 |
F26B5/08(2006.01)I |
代理机构 |
山东清泰律师事务所 37222 |
代理人 |
张春霞;贾琦 |
主权项 |
一种陶瓷盘高速甩干清洁置具,用于甩干清洁盛放晶片的陶瓷盘(1),其特征在于:包括容器(2),所述容器(2)内固定设置一旋转装置(3),所述旋转装置(3)上设置一托盘(4)。 |
地址 |
266114 山东省青岛市高新技术产业开发区河东路北 |