| 发明名称 |
Vakuumvorrichtung und Verfahren zur Gasphasenbearbeitung einer Substanz |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE112005003542(A5) |
申请公布日期 |
2008.02.28 |
| 申请号 |
DE200511003542T |
申请日期 |
2005.04.19 |
| 申请人 |
CREAPHYS GMBH |
发明人 |
FROEB, HARTMUT;DRECHSEL, JENS |
| 分类号 |
B01D7/02;B01D3/10;C07B63/00 |
主分类号 |
B01D7/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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