发明名称 一种用于光电子器件封装的精密对接装置
摘要 本发明提供的一种用于光电子器件封装的精密对接装置,它是由:基座(1)、双向平动平台、四个定位座(4、7、23、26)、动平台(9)、定长杆(6、19、20、24)、上光纤夹紧装置(13)、下光纤夹具(10)等组成;定长杆(6、19、20、24)的一端通过球铰与动平台(8)相联,在定长杆(6、20)的另一端与定位座(4、23)通过转动副相联,定长杆(19、24)通过虎克铰或球铰与定位座(7、26)相联,构成空间并联闭链机构。本发明具有结构简单紧凑、控制简单、运动分辨率高、运动解耦、动态性能好等优点,它能够实现高分辨率的微动对接封装操作,以提高光电子器件的封装成品率。
申请公布号 CN1298030C 申请公布日期 2007.01.31
申请号 CN200310110847.7 申请日期 2003.11.04
申请人 电子科技大学 发明人 范守文;李辉;吴献钢;陈畅;袁太文;洪涛
分类号 H01L21/56(2006.01);H01L21/50(2006.01);B81C5/00(2006.01) 主分类号 H01L21/56(2006.01)
代理机构 代理人
主权项 1、一种用于光电子器件封装的精密对接装置,其特征在于它是由:基座(1)、双向平动平台(2、27)、四个定位座(4、7、23、26)、动平台(9)、定长杆(6、19、20、24)、上光纤夹紧装置、下光纤夹具(10)、以及激光焊枪(11、16、22)组成;所说的定长杆为4个,定长杆(6、19、20、24)的一端通过球铰与动平台(9)相联,其中两个定长杆(6、20)的另一端与定位座(4、23)通过转动副相联,另外两个定长杆(19、24)通过虎克铰或球铰与定位座(7、26)相联,从而形成了空间并联闭链机构;所说的双向平动平台(2、27)可以位于基座(1)的上方,也可以位于机架上部;所说的下光纤夹具(10)固定在动平台(9)之上,上光纤夹紧装置由弧形柔性弹簧(12)、光纤夹具(13)、微位移驱动器(14)组成,位于机架上部;定位座(4、7、23、26)由平行板柔性移动副(67)、微位移驱动器(66)、定位座座体(65)组成。
地址 610054四川省成都市建设北路二段四号