锍盐化合物

摘要

本发明公开了通式[1]所示化合物和该化合物与重氮二砜化合物形成的组合物：(式中，R¹，R²和R³各自独立地表示芳香族烃残基，Y^n-表示由具有氟原子的碳数3或以上的羧酸衍生的阴离子，n表示1或2。条件是，R¹，R²和R³为在邻位和/或间位具有取代基的苯基的情况除外)。如果将该化合物或该化合物与重氮二砜形成的组合物用作抗蚀剂的酸产生剂，具有所谓改善超微细图案的外形或侧壁粗糙的效果。而且，该化合物也可以用作光阳离子性聚合引发剂。

主权项

1.通式[1]所表示的化合物：式中，R¹，R²和R³各自独立地表示可在对位具有碳原子数1～6的烷基作为取代基的苯基，Y^n-表示由下述通式[6]或[6’]表示的具有氟原子的碳数3或其以上的羧酸衍生的阴离子，R⁹-COOH     [6]通式[6]中，R⁹表示选自(1)碳原子数2～20的直链或支链或环状的烷基，(2)可以具有碳原子数1～4的烷基作为取代基的苯基、萘基、蒽基、1-芘基、苝基、4-甲基苯基、3-甲基苯基、4-乙基苯基、4-丙基苯基、4-丁基苯基、4-甲氧基苯基、3-甲氧基苯基或4-乙氧基苯基，和(3)碳数7～13的芳烷基组成的组中的具有氟原子的碳原子数2或其以上的1价烃基，HOOC-R-COOH    [6’]通式[6’]中，R表示选自(1)碳原子数1～20的直链或支链或环状的亚烷基，和(2)邻亚苯基、间亚苯基、对亚苯基、二亚苯基或对-二甲苯-α、α’-二基组成的组中的具有氟原子的2价烃基，n表示1或2。