- NON-SCRATCHING AND DURABLE SUBSTRATE SUPPORT PIN

摘要

기판 지지 핀 및 기판 지지 핀을 활용하는 프로세싱 챔버가 본원에서 설명된다. 일 실시예에서, 세장형 본체, 컵, 및 헤드를 포함하는 기판 지지 핀이 제공된다. 컵은, 본체의 중심선과 정렬되지 않은 배향으로 컵의 중심선이 이동하는 것을 허용하는 방식으로, 본체에 고정된다. 헤드는 컵에 고정된다. 헤드는 컵의 재료와 상이한 재료로 제조된다.