| 发明名称 |
METHOD AND SYSTEM FOR COMPENSATING FOR ANNEAL NON-UNIFORMITIES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1554749(A2) |
申请公布日期 |
2005.07.20 |
| 申请号 |
EP20030752471 |
申请日期 |
2003.09.18 |
| 申请人 |
VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES INC. |
发明人 |
RENAU, ANTHONY |
| 分类号 |
H01L21/265;H01L21/266;H01L21/324;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/336 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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