改进的带宽估算法

摘要

揭示了一种测量激光器发射输入到带宽计的光谱带宽的带宽计量方法与装置，包括：提供第一和第二输出的光学带宽监视器，第一输出代表指示激光器发射光带宽的第一参数，第二输出代表指示激光器发射光带宽的第二参数；和利用把第一和第二输出用作多变量方程组成部分以计算实际带宽参数的实际带宽计算装置，所述方程用光学带宽监视器专用的预定校正变量。该实际带宽参数包括激光器发射光谱全宽度内某一百分比最大值的谱全宽度(FWXM)或谱上包封激光器发射光谱全谱某一百分比能量的两点间的宽度(EX)。带宽监视器包括一标准具，第一输出代表该标准具在FWXM的光学输出的至少一个干扰带宽度或者谱上包封激光器发射光全谱某一百分比能量的两点间的宽度(EX’)，第二输出代表第二FWX″M或EX″′中的至少一个，其中X≠X″，X’≠X″′。预算的校正变量用可信标准从测量的实际带宽参数值中求出，与校正谱第一和第二输出的出现相关。实际带宽参数值从以下式算出：估算的实际带宽参数＝K×W1+L×W2+M，其中W1＝代表FWXM或EX’的第一测量输出，W2是代表FWX″M或EX″′的第二测量输出。该装置与方法可在激光面印术光源和/或集成电路石印机中实施。

主权项

1.一种测量从激光器发射输入到带宽计的光谱带宽的带宽计，其特征在于，包括：标准具，用于提供第一和第二输出，第一输出代表指示激光器发射光的带宽的第一参数，第二输出代表指示激光器发射光的带宽的第二参数；和实际带宽计算装置，利用把第一和第二输出用作多变量方程的组成部分以计算实际带宽参数，所述方程使用标准具专用的预定校正变量K、L和M，第一输出代表标准具在X的峰强度的全宽度FWXM的至少一个光学输出干扰带宽度，其中X是0～100％的最大强度的某一百分比，或者谱上包封激光器发射光全谱的0-100％之间的某一百分比能量X’的两点间的宽度EX′，第二输出代表第二FWX″M或EX″′中的至少一个，其中X”和X”’是0～100％的最大强度的某一百分比，且X≠X″，X′≠X″′，实际带宽参数值由下式算出：估计的实际带宽参数＝K×W1+L×W2+M式中W1＝代表FWXM或EX′的第一测量输出，W2是代表FWX″M或EX″′的第二测量输出。