| 摘要 |
기판의 온도 상승을 신속하게 행할 수 있고, 열 에너지의 손실을 저감할 수 있는 기판 재치대의 온도 제어 시스템을 제공한다. 히터 유닛(14)과 열 매체 유로(15)를 내장하고, 플라즈마 에칭 처리가 실시되는 웨이퍼(W)를 재치하는 서셉터(12)의 냉매 순환 시스템은, 열 매체 유로(15)에 접속되어 비교적 저온의 냉매를 열 매체 유로(15)로 공급하는 냉매 공급 장치(20)와, 열 매체 유로(15)와 냉매 공급 장치(20)의 사이에 배치되고 비교적 고온의 고온 매체를 저장하는 고온 매체 저장 탱크(21)와, 냉매 공급 장치(20) 및 고온 매체 저장 탱크(21)와 열 매체 유로(15)의 사이에 배치되고, 서셉터(12)의 온도를 상승시킬 때에 냉매 공급 장치(20)로부터 열 매체 유로(15)로의 냉매의 공급을 정지하고, 또한 고온 매체 저장 탱크(21)로부터 열 매체 유로(15)로 고온 매체를 공급하는 제 1 밸브군(23)을 구비한다. |
