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发明名称
摘要
申请公布号 JPS4889682(A) 申请公布日期 1973.11.22
申请号 JP19720018930 申请日期 1972.02.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/283;H01L21/28;H01L21/316;H01L21/329;H01L21/331;H01L29/73;H01L29/74 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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