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发明名称
摘要
申请公布号
JPS4891985(A)
申请公布日期
1973.11.29
申请号
JP19720011005
申请日期
1972.02.01
申请人
发明人
分类号
H01L21/76
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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