| 摘要 |
기판 증착시스템이 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 증착시스템은, 상호 인접하게 연속적으로 배치되며, 상호 다른 공정가스가 주입되어 기판에 대한 성막공정이 연속적으로 진행되는 복수의 공정챔버; 공정챔버들 사이에 각각 마련되며, 인접하는 공정챔버로부터 유입되는 공정가스를 배출하여 하나의 공정챔버에 주입된 공정가스가 인접하는 다른 하나의 공정챔버로 유입되는 것을 방지하는 복수의 가스유입 방지챔버; 및 복수의 공정챔버를 따라 기판에 대한 성막공정이 연속적으로 진행되도록, 복수의 공정챔버와 복수의 가스유입 방지챔버를 따라 기판을 연속적으로 이송하는 기판 이송유닛을 포함한다. |
