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发明名称
摘要
申请公布号
JPS49114368(A)
申请公布日期
1974.10.31
申请号
JP19730023197
申请日期
1973.02.28
申请人
发明人
分类号
H01L21/308
主分类号
H01L21/308
代理机构
代理人
主权项
地址
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