| 摘要 |
[과제] 본 발명은, 복수의 반송 유닛 사이에 간극이 생김으로써 스크라이빙한 기판이 낙하하거나 만곡되는 일 없이 제1 반송 유닛으로부터 제2 반송 유닛으로 기판을 반송할 수 있게 하는 것을 과제로 한다. [해결 수단] 제1 반송 유닛(14)은 3개의 평벨트(14a 내지 14c)로 이루어지고, 제2 반송 유닛(15)은 4개의 평벨트(15a 내지 15d)로 이루어져 있다. 이들 평벨트의 일부를 측면에서 보아서 서로 중첩하도록 배치한다. 이와 같이 하면 제1, 제2 반송 유닛(14, 15)을 동기시켜 동작시킴으로써 기판(30)을 탈락시키는 일 없이 제2 반송 유닛(15)으로부터 제1 반송 유닛(14)으로 반송할 수 있다. |
