发明名称 PROCEDE DE COLLAGE D'UNE PREMIERE STRUCTURE ET D'UNE SECONDE STRUCTURE
摘要 Ce procédé comporte les étapes a) prévoir la première structure (1) comportant successivement un premier substrat (10), une première couche (11) réalisée à base d'un métal, et un premier oxyde métallique (12) à base du métal, b) prévoir la seconde structure (2) comportant successivement un second substrat (20), une seconde couche (21) réalisée dans un second matériau, et un second oxyde métallique (22) à base du métal, les premier et second oxydes métalliques (12, 22) présentant une enthalpie libre standard de formation AG°, le second matériau étant choisi de sorte qu'il possède un oxyde (3) présentant une enthalpie libre standard de formation strictement inférieure à AG°, c) coller la première structure (1) et la seconde structure (2) par adhésion directe, d) activer la diffusion des atomes d'oxygène des premier et second oxydes métalliques (12, 22) vers la seconde couche (21) de manière à former l'oxyde (3) du second matériau.
申请公布号 FR3036225(A1) 申请公布日期 2016.11.18
申请号 FR20150054340 申请日期 2015.05.13
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES 发明人 IMBERT BRUNO;BENAISSA LAMINE;GONDCHARTON PAUL
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址